一元硬币上集成 218 个“嗅探器”：我国研制出微型臭氧监测传感器，实现 ppb 级臭氧精准检测

IT之家 4 月 4 日消息，我国科研团队研制出一款微型臭氧传感器，在一元硬币大小的玻璃片上集成了 218 个传感器单元，每个单元均可独立精准检测臭氧浓度。中国科学院合肥物质科学研究院安徽光机所孟钢研究员团队与山西大学卢华东教授、安徽大学郭庆川教授团队开展合作，以常规氧化铟锡玻璃为基体，采用飞秒激光刻蚀与等离子体刻蚀工艺，设计了基于图形化氧化铟锡膜的臭氧传感器。<p style="text-